MOCVD过滤器选型指南精度分级与工况适配‌

来源:MOCVD过滤器http://www.galthe.com/ | 发布时间:2025/7/25 | 浏览次数：

MOCVD过滤器精度选择法则‌

预过滤层‌：≥50μm不锈钢编织网，lan截大颗粒杂质，抗压差＞1MPa，保护后端精mi元件‌；

‌ 核心精滤层‌：

普通工艺：1-5μm玻纤滤芯（PM0.3lan截率＞99.99%）‌；

超纯气体：PTFE覆膜滤芯（精度0.1-3nm），保障电子特气9N级纯度‌。

关键警示：过度追求高精度（如＜0.1μm）将导致压差剧增，流速下降30%以上‌。

‌ 动态精度保障‌

高温场景：烧结钛合金滤棒（200℃下保持5μm精度），避免聚酯纤维120℃变形失效‌；

并联冗余设计：双支路过滤系统，压差超限时自动切换，维护周期延长50%‌。文章来源MOCVD过滤器http://www.galthe.com/。

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