第三代半导体时代，MOCVD过滤器的技术升级趋势

   na米级过滤精度突破

   ‌复合滤材结构革新‌：玻璃纤维与聚酰亚胺na米纤维混编（直径≤100nm），形成三维网状捕获层，将颗粒截留精度提升至0.1μm，金属杂质阻隔率≥99.99% ‌。表面覆石墨烯疏油涂层，降低油液粘附阻力30%，延长过滤器使用寿命50% ‌。

‌   抗污染催化功能‌：负载TiO₂na米颗粒的催化层，紫外线ji活下fen解油液氧化物，减少系统堵塞风险，外延片良率提升3%-5% ‌。文章来源MOCVD过滤器http://www.galthe.com/。