MOCVD工艺中气体过滤的四大挑战

来源:MOCVD滤芯http://www.filtergy.com/ | 发布时间:2025/7/29 | 浏览次数：

MOCVD滤芯ji端高温耐受挑战

‌ 工况要求‌：前驱体气体温度达280-320℃，传统陶瓷滤芯热膨胀系数与不锈钢管路不匹配，密封失效风险增加37%‌。

‌ 突破方案‌：

采用FeCrAl高温合金与316L不锈钢复合han接，热变形量降至进口产品1/4‌；CVD镀覆50nm氮化硅层，耐温性提升至400℃‌。

亚微米颗粒lan截挑战

‌ 粉尘特性‌：尾气含金属you机物粉尘及<2μm颗粒，易堵塞真空泵与阀门‌。

‌ 精度需求‌：需0.003μm（3nm）级过滤精度，防止粉尘沉积导致设备停机‌。

‌ 技术方案‌：蜂窝式流道设计降低压降28%，粉尘剥离效率92%‌；多层不锈钢烧结纤维毡实现na米级截留‌。文章来源MOCVD滤芯http://www.filtergy.com/。

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