MOCVD滤芯前驱体纯度保障：精zhun调控沉积化学‌

来源:MOCVD滤芯ttp://www.galthe.com/ | 发布时间:2025/8/5 | 浏览次数：

‌ 6N级气体纯化‌：对金属有ji源及氢化物进行深du纯化，将杂质浓度降至ppt级，确保原子级外延生长精度。

系统级优化：实现工艺稳定性‌

‌动态流量控制‌：高精度质量流量控zhi器与过滤系统联动，实时调节气流比例，将流量波动控制在±0.2% FS，保障薄膜均匀性。

‌ 泄漏主动防护‌：集成红外传感器监测SiH₄等危险气体泄漏，触发氮气吹扫防止爆燃污染反应腔

‌低温输运技术‌：对易冷凝前驱体采用-40℃冷冻储运及低温MFC控制，避免气化过程中纯度衰减。本文源自MOCVD滤芯ttp://www.galthe.com/。

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