国产MOCVD过滤器在Mini/Micro LED领域的技术背景与核心作用‌

    MOCVD（金属有 机化学气相沉积）是Mini/Micro LED外延片生产的关键设备，其过滤器用于净化反应气体，直接影响外延层的均匀性和缺 陷率。国产化突破主要体现在高精度气体过滤和耐腐蚀材料技术上‌。本文源自MOCVD滤芯http://www.galthe.com/。