MOCVD系统过滤器结构设计与环境适配

‌   耐候性与密封‌：静电粉末喷涂处理保障耐候性＞6000小时；全密封框架杜绝侧漏风险，并通过激光切割实现接合精度误差≤0.5mm‌。ji端工况下，变形量需≤0.2mm‌。本文源自MOCVD滤芯http://www.galthe.com/。