MOCVD系统过滤器的性能标准：实现超低颗粒物过滤的关键要素

    MOCVD系统用于半导体、光电子等领域，其过滤器需在高温、腐蚀性气体环境中实现超低颗粒物过滤。综合工业标准与技术实践，性能标准聚焦以下核心维度，确保颗粒物截留率≥99.9%且排放浓度≤5mg/m³‌。本文源自MOCVD滤芯http://www.galthe.com/。