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半导体工艺守护者

来源:MOCVD过滤器http://www.galthe.com/ | 发布时间:2025/7/15 | 浏览次数:

   MOCVD过滤器主要用于半导体外延生长设备的尾气处理,可lan截反应腔产生的na米级颗粒(如shen化镓粉尘)和金属you机化合物残留,保障工艺洁净度与设备寿命。

   该行业正从“替代进口”向“自主创新”转型,未来需突破na米纤维滤材与智能监测技术,以匹配半导体工艺的严苛要求。文章来源MOCVD过滤器http://www.galthe.com/。


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