专利【律特霍尔】MOCVD设备的尾气颗粒过滤系统及方法

专利【律特霍尔】MOCVD设备的尾气颗粒过滤系统及方法 本发明提供一种MOCVD设备的尾气颗粒过滤系统及方法,该过滤系统包括:用于吸附MOCVD设备的尾气颗粒的一级颗粒吸附系统,冷却系统和二级颗粒吸附系统;冷却系统设置于一级颗粒吸附系统中,与一级颗粒吸附系统结合实现对MOCVD设备的尾气的快速降温和颗粒吸附;二级颗粒吸附系统与一级颗粒吸附系统相连,实现MOCVD设备的尾气颗粒的再吸附.本发明采用一级颗粒吸附系统和冷却系统相结合的方式快速降低尾气排放的温度,增强对尾气所含颗粒的一级吸附过滤能力,大大减小对二级颗粒吸附系统中的滤芯的技术规格要求;本发明无需对MOCVD设备进行额外改造,实现所需成本较低,占用空间小,拆装维护方便,使用周期长。